塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長門侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-291437
公開番号（公開出願番号）：特開平9-131560
出願日： 1995年11月09日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】被塗布部材としてのガラス基板の表面に形成される塗膜の幅を良好に制御でき、また、その膜厚を幅方向全域に亘って均一にすることができる塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】塗布方法を実施し、カラーフィルタの製造装置に使用される塗布装置は、その下面に塗布液の吐出口66を有したスリットダイ40を備えており、このスリットダイ40の下面には吐出口66の両端にそれぞれ連なる上向きの傾斜面70が形成されている。

請求項（抜粋）：

塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段からの塗布液の供給を受け、一方向に延びる吐出口から塗布液を吐出する塗布器と、前記塗布器または被塗布部材のいずれか一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、前記吐出口からの塗布液の吐出域を前記吐出口の両端間にて規定される吐出幅内に制限する制限手段を含むことを特徴とする塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 , G02F 1/1335 505

FI (3件)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 Z , G02F 1/1335 505

引用特許：

審査官引用 (6件)

塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-324398 出願人：コニカ株式会社
特開平4-141270
離散的なコーティングを塗布する装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-169272 出願人：ノードソンコーポレーション

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