特許
J-GLOBAL ID：200903089839734367
自動焦点顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258561
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095091
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】厚みのある標本等の自動焦点検出を行う際に、操作者が観察したい任意の位置へのピント合わせ操作を確実、且つ高速に行うこと。【解決手段】対物レンズ11と試料Sの間隔は、コントロール部16の指示によって焦準用モータ駆動部19、焦準用モータ18を介して試料移動ステージ17の上下動により調整する。また、基準光源22から観察試料に測定光を照射し、観察試料からの反射光をPD36で受光して、対物レンズ11の合焦位置を検出する。自動合焦位置検出動作を停止している場合には、試料移動ステージ17を上下動して試料Sの合焦位置を調整する。また、自動合焦位置検出動作を実行している場合には、PD36の出力に基いてコントロール部16が試料移動ステージ17を移動して試料Sの合焦位置を調整する。
請求項（抜粋）：
試料を観察するための対物レンズと、この対物レンズと上記試料との間隔を調節する焦点調節手段と、この焦点調節手段を駆動する駆動手段と、上記対物レンズの上記試料に対する合焦状態を検出する合焦検出手段と、この合焦検出手段の検出結果に基いて上記駆動手段を制御して上記対物レンズを自動的に合焦させる自動合焦手段と、上記合焦検出手段により検出される合焦位置を補正する合焦補正手段と、上記駆動手段及び上記合焦補正手段に駆動量若しくは補正量を指示する操作手段と、この操作手段に入力された操作量を、自動合焦動作が停止している場合には上記駆動手段に伝達し、自動合焦動作が実行されている場合には上記合焦補正手段に伝達する制御手段とを有することを特徴とする自動焦点顕微鏡。
IPC (3件)：
G02B 7/28
, G02B 21/00
, G03B 13/36
G02B 7/11 J
, G02B 21/00
, G02B 7/11 N
, G03B 3/00 A
