質量分光測定装置及びイオン輸送分析方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹内澄夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-529457
公開番号（公開出願番号）：特表平11-504467
出願日： 1997年02月12日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】ニュートラル及び質量分析イオンからイオンの分離を行うための質量分光測定装置。この装置は、イオン導入装置を有するイオン生成ソース、真空チャンバー内に配置される無線周波数イオンガイド及び質量分析器を含む。無線周波数イオンガイドの主軸線がイオン導入装置の中央軸線に対して角度を付けられるように、無線周波数イオンガイドはイオン導入装置に関して位置される。イオンの軌道は、無線周波数イオンガイドの主軸線に向かって分岐し、一方、ニュートラルは、中央軸線に沿ってその流れを継続する。イオン導入装置からのイオンは、無線周波数イオンガイドを介して、質量分析器へと輸送される。

請求項（抜粋）：

質量分光測定装置であって、(1) イオン化領域でイオンを生成するためのイオンソース、(2) 前記イオンソースに近接して配置され、少なくとも一対の真空領域を有する真空チャンバーであって、前記一対の前側領域から後側領域へと圧力が断続的に減少し、前記前側領域が前記イオンソースに隣接する、ところの真空チャンバー、(3) 入口開口部及び出口開口部を含むイオンサンプリングデバイスであって、前記入口開口部と前記出口開口部との間に狭い通路を有し、前記通路が、ガスに含まれるイオンを前記イオン化領域から前記真空チャンバーへと輸送するための、前記イオンサンプリングデバイスの中央軸線を画成する、ところのイオンサンプリングデバイス、(4) 前記前側領域と前記後側領域との間の中間領域内の主軸線に沿って、前記イオンサンプリングデバイスの前記出口開口部に隣接して位置され、イオンを前記後側領域へと通過させるための無線周波数イオンガイドであって、前記イオンサンプリングデバイスの前記出口開口部と前記無線周波数イオンガイドの入口との間の空間が、空力ジェット領域を画成し、前記空力ジェット領域が、10〜10-4Torrの圧力を有し、前記イオンサンプリングデバイスの前記中央軸線が、前記無線周波数イオンガイドの前記主軸線に関して傾けられて、イオン流の軌道が、前記無線周波数イオンガイドにより変えられ、イオンが前記主軸線に沿って向けられる、ところの無線周波数イオンガイド、及び(5) 前記真空チャンバーの前記後側領域内のコア軸線に沿って位置され、前記無線周波数イオンガイドから受けたイオンを分析するための質量分析器、を含む質量分光測定装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-276147
質量分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-018721 出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
質量分析計および静電レンズ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-232833 出願人：株式会社日立製作所

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