CVD粉体原料用気化器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-102313
公開番号（公開出願番号）：特開平7-278818
出願日： 1994年04月14日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】粉体原料を用いてCVD法により薄膜を製造する場合に、十分な気化量を確保して成膜速度を向上させる。【構成】キャリアガスを導入する導入部1とキャリアガスを排出する排出部2が、キャリアガスの通過する気化器本体3の内部において粉体原料6により隔てられた構造とする。

請求項（抜粋）：

キャリアガスを導入する導入部とキャリアガスを排出する排出部が、キャリアガスの通過する気化器本体の内部において粉体原料により隔てられた構造を有することを特徴とするCVD粉体原料用気化器。

引用特許：

審査官引用 (5件)

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