特許

J-GLOBAL ID：200903089868496491

3次元形状測定機

発明者： 神谷 誠一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-143420
公開番号（公開出願番号）：特開2003-337018
出願日： 2002年05月17日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【課題】円筒座標形を用いながら、高精度に被測定物の形状を測定することができるようにする。【解決手段】2つの直進軸であるR軸、Z軸と、1つの回転軸であるθ軸とを有する円筒座標系を用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機であって、θ軸回りに回転可能なθステージ9上に形成され、円筒面形状の端面であるスラスト面と側面であるラジアル面に基準面を有するθ基準ミラー16,17と、θステージの運動には影響を受けないように保持されている運動誤差検出用基準ミラー14a,14bと、θ基準ミラーと運動誤差検出用基準ミラーとの間の相対距離変動を測定する測長器13a,13bとを具備し、θ基準ミラーと、運動誤差検出用基準ミラーと、測長器とを用いてθステージの回転運動中に生じる運動誤差成分を検出し、被測定物の面測定結果からθステージの運動誤差成分の影響を除去するように補正を行う際に、あらかじめ算出しておいたθ基準ミラーのスラスト面及びラジアル面の面形状成分も補正に加える。

請求項（抜粋）：

2つの直進軸であるR軸、Z軸と、1つの回転軸であるθ軸とを有する円筒座標系を用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機であって、前記θ軸回りに回転可能なθステージ上に形成され、円筒面形状の端面であるスラスト面と側面であるラジアル面に基準面を有するθ基準ミラーと、前記θステージの運動には影響を受けないように保持されている運動誤差検出用基準ミラーと、前記θ基準ミラーと前記運動誤差検出用基準ミラーとの間の相対距離変動を測定する測長手段とを具備し、前記θ基準ミラーと、前記運動誤差検出用基準ミラーと、前記測長手段とを用いて前記θステージの回転運動中に生じる運動誤差成分を検出し、被測定物の面測定結果からθステージの運動誤差成分の影響を除去するように補正を行う際に、あらかじめ算出しておいた前記θ基準ミラーの前記スラスト面及びラジアル面の面形状成分も補正に加えることを特徴とする3次元形状測定機。

IPC (2件)：

G01B 21/20 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 21/20 C ,  G01B 11/24 A

Fターム (43件)：

2F065AA06 ,  2F065AA35 ,  2F065AA51 ,  2F065BB03 ,  2F065BB05 ,  2F065BB07 ,  2F065CC00 ,  2F065CC21 ,  2F065CC22 ,  2F065EE00 ,  2F065FF10 ,  2F065FF61 ,  2F065FF65 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065GG13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL12 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP03 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ17 ,  2F069AA62 ,  2F069AA66 ,  2F069AA77 ,  2F069BB40 ,  2F069CC07 ,  2F069CC08 ,  2F069EE04 ,  2F069EE23 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG11 ,  2F069GG58 ,  2F069GG65 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ17 ,  2F069MM04 ,  2F069MM23 ,  2F069NN18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 3次元形状測定機及びその測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-140118   出願人：キヤノン株式会社
• 3次元形状測定機及び同機における校正方法、ステージ装置、位置制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-242196   出願人：キヤノン株式会社