特許

J-GLOBAL ID：200903089912822792

多自由度微動位置決め装置

発明者： 廣瀬 和也
出願人/特許権者： ヒーハイスト精工株式会社
代理人 (1件)： 三觜 晃司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-321766
公開番号（公開出願番号）：特開2004-156679
出願日： 2002年11月05日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】より単純な構造で、多軸方向への高精度な位置決めが容易な、多自由度微動位置決め装置を提供する。【解決手段】基台2上に縦横移動旋回支持機構3によって平面上で縦横に且つ旋回可能に支持されるステージ4を、ステージ4中心Oを通り、ステージに直交する中心軸Zを中心に揺動する揺動支持機構5を介して支持する構成とする。揺動支持機構5は、基台2、支持台6およびステージ4の中心Oを鉛直方向に貫く中心軸Zを中心に、略120°毎に前記基台2上に配設した第1、第2、第3直動アクチュエータ13〜15と、これら第1〜第3直動アクチュエータ13〜15の駆動軸13a〜15aに、駆動軸13a〜15aに対して直交する軸周りに回動する軸受16を介して揺動腕17を連結し、揺動腕17先端を球面軸受18を介して前記支持台6に取り付ける。この際、前記揺動腕17は、所定の仰角をもって保持する。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

基台上にステージを、ステージに直交する中心軸を中心に縦横移動可能に且つ旋回可能に構成した縦横移動旋回支持機構と、前記中心軸を中心に揺動する揺動支持機構とを介して支持する構成としたことを特徴とする多自由度微動位置決め装置。

IPC (6件)：

F16M7/00 ,  B23Q1/48 ,  F16C11/06 ,  F16C19/32 ,  F16H21/54 ,  G05D3/00

FI (6件)：

F16M7/00 A ,  F16C11/06 B ,  F16C19/32 ,  F16H21/54 ,  G05D3/00 Q ,  B23Q1/14 Z

Fターム (40件)：

3C048BB20 ,  3C048BC02 ,  3C048DD00 ,  3C048DD06 ,  3C048DD12 ,  3C048EE00 ,  3J062AA36 ,  3J062AB28 ,  3J062AC08 ,  3J062AC09 ,  3J062BA11 ,  3J062BA14 ,  3J062CB03 ,  3J062CB15 ,  3J062CB18 ,  3J062CB28 ,  3J062CB32 ,  3J101AA03 ,  3J101AA32 ,  3J101AA53 ,  3J101AA63 ,  3J101FA60 ,  3J101GA31 ,  3J101GA60 ,  3J105AA22 ,  3J105AA36 ,  3J105AB17 ,  3J105AC10 ,  3J105BB51 ,  3J105CA02 ,  3J105CA22 ,  3J105CB02 ,  3J105CF01 ,  3J105CF11 ,  5H303BB03 ,  5H303BB09 ,  5H303CC01 ,  5H303DD19 ,  5H303HH02 ,  5H303LL03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特許第2940663号
  
• 回転型多自由度機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-287725   出願人：ヒーハイスト精工株式会社