特許

J-GLOBAL ID：200903048494705093

回転型多自由度機構

発明者： 廣瀬 和也
出願人/特許権者： ヒーハイスト精工株式会社
代理人 (1件)： 三觜 晃司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-287725
公開番号（公開出願番号）：特開2002-098784
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】 シリコンウェーファ、液晶用ガラス基板の目視検査ステージ、監視カメラ、指向性受発信アンテナの台等に好適な、回転型多自由度機構を提供する。【解決手段】 上面が平担状の基台2に、回動自在に設けた回転台3を介して固設した支柱4と、それぞれ2自由度回転対偶である継手手段5,5を介して取り付けた一対の直動アクチュエータ6,6とを有し、前記支柱4の上端部に2自由度回転対偶である継手手段7を介し、また前記一対の直動アクチュエータ6,6の上端側に、それぞれ3自由度の回転対偶である球面軸受8,8を介して被調節部材9を支持する構成とする。

請求項（抜粋）：

基台上に固設した支柱と、2自由度回転対偶を介して立設した一対の直動アクチュエータとを有し、前記支柱の上端側に2自由度回転対偶を介し、且つ、前記一対の直動アクチュエータの上端側にそれぞれ3自由度の回転対偶を介して被調節部材を支持するようにし、前記一対の直動アクチュエータを伸縮制御することで被調節部材を揺動調節する構成としたことを特徴とする回転型多自由度機構。

IPC (2件)：

G12B 5/00 ,  G01M 11/00

FI (2件)：

G12B 5/00 A ,  G01M 11/00 T

Fターム (5件)：

2F078CA10 ,  2F078CB02 ,  2F078CB08 ,  2F078CC15 ,  2G086EE10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 可変形状構造物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-028038   出願人：日本電信電話株式会社
• ウエハプローバ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-274216   出願人：セイコーエプソン株式会社