表面-マイクロ技術による超音波変換器

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-519903
公開番号（公開出願番号）：特表2001-502871
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】ドープされた領域(5)をその内部に有するシリコン基板(1)の上に、そのなかにエッチング除去された空所(8)を有する間隔層(7)と、空所を覆って間隔層の上に配置されるダイアフラム(2)とが位置しており、その際にドープされた範囲およびダイアフラムが接続接触部(4、6)を介して、同じく基板(1)のなかに集積されている電子的構成要素(13)と電気的に接続されている。電子的構成要素は、ダイアフラムの駆動およびダイアフラム振動の評価のためにも使用される作動回路の構成部分である。集積は、マイクロメカニックな変換器構成要素を、位相調整アレイとして電子的に駆動されるアレイとして配置することを可能にする。

請求項（抜粋）：

基板(1)の上に設けられた超音波変換器において、-基板のなかにドープされた領域(5)が構成されており、-間隔層(7)の上にこの範囲に対して間隔をおいてマイクロメカニックなダイアフラム(2)が配置されており、-ドープされた領域とダイアフラムとの間に、基板に向けてダイアフラムの予定されている最大の偏れを可能にする空所(8)が存在しており、-ダイアフラムが電気的に伝導性であり、またはダイアフラム面の範囲内に配置されている電気的に伝導性の層(15)と機械的に接続されており、-ダイアフラムまたはそれと接続されている電気的に伝導性の層およびドープされた範囲が各1つの接続接触部(4、6)を設けられており、-電子的構成要素が基板上に集積されており、また-これらの構成要素が、ダイアフラムに超音波振動を励起させ、またはダイアフラムに存在する超音波振動を検出することを可能にする作動-および駆動回路が形成されるように、互いにまた接続接触部と接続されていることを特徴とする超音波変換器。

IPC (3件)：

H04R 17/00 330 , G01H 11/06 , H01L 41/09

FI (3件)：

H04R 17/00 330 J , G01H 11/06 , H01L 41/08 U

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭63-237699
特開昭63-215109
特開昭61-220597

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審査官引用 (14件)

薄膜を有する音響装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-129530 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
電子音響集積回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-316358 出願人：松下電器産業株式会社
特開平4-256353

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