特許
J-GLOBAL ID：200903089915535131

パーティクル検出装置

発明者：
守谷 修司

守谷 修司 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-032736
公開番号（公開出願番号）：特開平9-203704
出願日： 1996年01月26日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】 真空室内のパーティクル発生状況をオンタイムで精度良く検出することができるパーティクル発生装置を提供する。【解決手段】 真空室4に形成した排気口6に排気予備室8を設け、この排気予備室に排気通路78を接続して真空引き可能になされた真空装置に設けたパーティクル検出装置において、前記排気予備室内に検査用レーザ光を照射するためこの排気予備室の壁面に設けたレーザ光照射手段94と、前記検査用レーザ光を臨む位置に設けられてパーティクルからの反射光を検出する光検出手段126とを備えるように構成する。これにより、パーティクル発生箇所に、より近い場所でパーティクルの発生状況を検出する。
請求項（抜粋）：
真空室に形成した排気口に排気予備室を設け、この排気予備室に排気通路を接続して真空引き可能になされた真空装置に設けたパーティクル検出装置において、前記排気予備室内に検査用レーザ光を照射するためこの排気予備室の壁面に設けたレーザ光照射手段と、前記検査用レーザ光を臨む位置に設けられてパーティクルからの反射光を検出する光検出手段とを備えたことを特徴とするパーティクル検出装置。
IPC (5件)：
G01N 15/14 ,  G01N 21/47 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (5件)：
G01N 15/14 P ,  G01N 21/47 Z ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 A
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 粒子検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-228332   出願人：日電アネルバ株式会社
  • 特開昭59-191324
  • 特開昭63-080536
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