特許
J-GLOBAL ID:200903089997964302
ピエゾアクチュエータ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
後藤 政喜 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-326926
公開番号(公開出願番号):特開平10-173247
出願日: 1996年12月06日
公開日(公表日): 1998年06月26日
要約:
【要約】【課題】 ピエゾアクチュエータにおいて、無理無く与圧荷重を付加することを目的とする。【解決手段】 印加される電圧により伸長する複数のピエゾ素子13を積層し、積層された各ピエゾ素子13の両端に接合する一対の端板2,3を備え、積層された各ピエゾ素子13を圧縮方向に与圧する与圧手段として各端板2,3の間にコイルバネ4を介装するものとした。
請求項(抜粋):
印加される電圧により伸長する複数のピエゾ素子を積層し、積層された各ピエゾ素子を圧縮方向に与圧する与圧手段を備えたピエゾアクチュエータにおいて、積層された各ピエゾ素子の両端に接合する一対の端板を備え、与圧手段として各端板の間にコイルバネを介装したことを特徴とするピエゾアクチュエータ。
IPC (3件):
H01L 41/083
, F03G 7/00
, H02N 2/00
FI (3件):
H01L 41/08 S
, F03G 7/00 H
, H02N 2/00 B
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開平4-264784
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特開平2-288380
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特開平2-288277
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特開昭61-284350
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密封式超精密微動装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-063330
出願人:秩父小野田株式会社
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