特許

J-GLOBAL ID：200903090021597877

光導波路型グレーティングおよびその製法ならびに前記光導波路型グレーティングを用いた光フィルタおよび該光フィルタを用いた波長多重光伝送システム

発明者： 吉新 喜市 ,  高林 正和 ,  竹谷 元 ,  今田 勝大 ,  内川 英興
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-307824
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148726
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 光誘起による屈折率変化を利用して石英系光導波路に作製したグレーティングの温度依存性を改善する光導波路型グレーティングおよびその製法ならびにこのグレーティングを用いた光フィルタならびにこの光フィルタを用いた波長多重光伝送システムを提供する。【解決手段】 原料としてSiのアルコキシド、たとえばTEOSを主に用いて、CVD法により、コアおよびクラッドを形成し、そののち、位相マスクを介して、エキシマレーザを照射し、グレーティング13をコアに形成し、クロムまたは白金の薄膜ヒータ(ヒータ電極14a、入出力電極14b、電流リード14c)を光導波路上に作製し、薄膜ヒータへの電流制御でグレーティングのブラッグ中心波長の微調整を行い、高密度波長多重された光信号に対応した光フィルタを作製する。

請求項（抜粋）：

コアおよびクラッドからなり、SiO2を主成分とし、Ge、B、PおよびSnの各酸化物の少なくとも1つの酸化物を含む光導波路に形成される光導波路型グレーティングであって、前記コアおよびクラッドの少なくとも1つに、ZrおよびTiの各酸化物の少なくとも1つの酸化物が添加されてなることを特徴とする光導波路型グレーティング。

IPC (5件)：

G02B 6/10 ,  G02B 6/00 376 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/16 ,  G02B 6/293

FI (6件)：

G02B 6/10 C ,  G02B 6/00 376 B ,  G02B 6/16 ,  G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 F ,  G02B 6/28 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光回路部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-227075   出願人：日本電信電話株式会社
• 導波路型光フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-255444   出願人：住友電気工業株式会社