特許
J-GLOBAL ID:200903090023085148
単結晶の切断方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-059674
公開番号(公開出願番号):特開平7-266331
出願日: 1994年03月30日
公開日(公表日): 1995年10月17日
要約:
【要約】【目的】割れ発生のない単結晶を得る方法を提供する。【構成】GSO単結晶を内周刃切断器で切断した。φ50×180mmの結晶を内周刃切断器を用い切断した。結晶切断中は回転刃を油で冷却した。【効果】割れが発生しやすい透明な結晶について、割れの発生を防止することができる。
請求項(抜粋):
液体で冷却しながら珪酸化合物単結晶を加工する場合、冷却に用いる液体が非水液体である単結晶の加工方法。
引用特許:
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