電圧測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-019258
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211132
出願日： 1995年02月07日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】高精度で電圧を測定する電圧測定装置を提供する。【構成】処理部600が駆動部300に対して指定数N(=1,2,...)を通知する。駆動部300は、被測定デバイスに対して周波数f0 の駆動信号を供給するとともに、光源110に周波数N・f0 +Δfの変調信号を供給する。こうして、光源110から強度変調光が出力され、PBS120、波長板130などの光学系を介してE-Oプローブ200に入射し、被測定部に発生している基本周期1/f0 の周期的な電圧波形の影響を受け偏光状態が変調されてE-Oプローブ200から出力される。偏光状態が変調された光信号は、PBS120で偏光方向についての選択がなされて光検出器510に入力し、ヘテロダイン検波される。こうして得られた光検出信号に基づいて、処理部600はフーリエ変換法により、被測定部に発生した電圧信号の波形を演算により再現し、表示する。

請求項（抜粋）：

被測定物の被測定部に近接あるいは接触させて前記被測定部の電圧を検出する電圧測定装置であって、外部から指示された第1の周波数で強度変調された光を発生する光源と、前記光源から出力された光を入力し第1の偏光方向の成分を選択し、プローブ光として出力する偏光子と、前記偏光子から出力されたプローブ光に偏光状態に関する光学バイアスを付与後、プローブ光を被測定部へ導く第1の光学系と、前記被測定部に接触あるいは近接した位置に配置される、電気光学効果を有する電気光学材料から成る部材を備え、前記部材の前記被測定部側の底面が反射加工された電気光学変換プローブと、前記被測定物を第2の周波数で駆動するとともに、前記第2の周波数に外部から指定された第1の数を乗じた第3の周波数に第2の周波数よりもちいさな値の第4の周波数を加えた第1の周波数を前記光源に通知するとともに、前記第4の周波数の信号とを出力する駆動部と、前記電気光学変換プローブから出力された光を受光して、第2の偏光方向の成分を選択して出力する光選択部と、前記選択部から出力された光を受光して、受光強度に応じた光検出信号を出力する光検出器と、前記光検出器から出力された前記光検出信号を入力して前記第4の周波数の成分を選択するとともに、前記駆動部から出力された前記第4の周波数の信号を入力して、選択された前記光検出信号の成分を前記駆動部から出力された前記第4の周波数の信号に同期して検出する同期検出部と、前記駆動部に前記第1の数を通知するとともに、前記同期検出部から出力された同期検出信号を収集し、処理をして前記被測定部の電圧を求める処理部と、を備えることを特徴とする電圧測定装置。

IPC (3件)：

G01R 31/302 , G01R 15/24 , G01R 19/00

FI (2件)：

G01R 31/28 L , G01R 15/07 C

引用特許：

出願人引用 (4件)

電界測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-038068 出願人：株式会社リコー
特開平3-085459
電界強度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-151405 出願人：株式会社リコー

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