特許
J-GLOBAL ID：200903090106629859
走査システムを校正する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-611030
公開番号（公開出願番号）：特表2002-541469
出願日： 2000年04月07日
公開日（公表日）： 2002年12月03日
要約：
【要約】機械及び測定プローブを備える走査システムを校正する方法は、システムが正確な測定値を提供するように、システムを静的に誤差マップ化し、スタイラス先端を修正するステップ、ワークピースと接触状態にあるプローブスタイラスで、表面に垂直な振れがゼロで製品表面上の多くの基準点の位置を決定するステップ、基準点の位置の第2の決定をするために繰り返し可能な位置測定を提供する呼称上の振れで、最大速度で基準点を通って表面を走査するステップ、第1と第2の決定で得られた位置を差し引くことにより、走査工程に起因すると考えられる誤差を決定するステップ、及び類似製品の以後の測定の補正用に誤差値を蓄積するステップを含んでいる。
請求項（抜粋）：
a)製品の表面に向かって該表面に呼称上垂直な方向にプローブスタイラスを移動させ、該表面の特定基準点(N)で該表面に接触させるステップ、b)機械の移動とプローブスタイラスの振れの、その接触点で表面に垂直である成分のみを使用し、スタイラス先端がちょうど表面に接触状態になる瞬間に基準点各々の位置の決定をするステップ、c)所定の測定可能なプローブスタイラスの振れで、数度基準点を呼称上通過するたびに多数の異なる速度で、製品の表面を走査するステップ、d)機械の移動とプローブスタイラスの振れの、表面に垂直である成分を使用し、さらに、基準点(N)の各々の見かけ上の位置の決定をし、そして各速度に対しステップb)で決定された位置との垂直方向のどんな差をも記録するステップ、e)ステップd)で記録された差から、各走査中にノートされた基準点の位置測定値の変化が所定の許容範囲内に留まっている最も早い走査速度を確認するステップ、f)確認された速度とその速度における測定値の差を蓄積するステップ、 とを備えることを特徴とする測定機械及びプローブを備える走査システムを校正する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 21/00 E
, G01B 21/20 C
2F069AA04
, 2F069AA66
, 2F069DD12
, 2F069EE03
, 2F069EE04
, 2F069EE07
, 2F069EE20
, 2F069EE23
, 2F069FF01
, 2F069GG01
, 2F069GG11
, 2F069GG62
, 2F069HH02
, 2F069JJ08
, 2F069LL02
, 2F069MM32
, 2F069MM38
, 2F069NN00
, 2F069NN16
, 2F069NN26
