特許
J-GLOBAL ID：200903090129820300
バンプ付電子部品の圧着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-009334
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209223
出願日： 1997年01月22日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 バンプをむらなく圧着でき、且つ高精度実装可能なバンプ付電子部品の圧着装置を提供することを目的とする。【解決手段】 圧着ヘッド10は、ヘッダ11と、ヘッダ11の下方に設けられた第1固定ブロック18、第1可動ブロック20、第2固定ブロック21、第2可動ブロック23から成り、第2可動ブロック23の下方にヒータブロック34および吸着ツール36を備える。第1固定ブロック18と第1可動ブロック20はY円弧面19で押接され、第2固定ブロック21と第2可動ブロック23はX円弧面22で押接される。吸着ツール36にバンプ付電子部品Pを真空吸着し、バンプQを基板に押し付けて実装するが、その際、Y円弧面19とX円弧面22に沿ってチルトすることによりバンプQが整列する面を基板にならわせ、すべてのバンプQを均等な力で基板に圧着する。
請求項（抜粋）：
テーブルに載せられた基板の電極にバンプ付電子部品のバンプを着地させ、圧着ヘッドにより前記バンプを前記電極に圧着するバンプ付電子部品の圧着装置であって、前記圧着ヘッドが、その下面がY円弧面である第1固定ブロックと、その上面がこのY円弧面に当接してこのY円弧面に沿って回動する第1可動ブロックと、この第1可動ブロックの下方に設けられてその下面がX円弧面である第2固定ブロックと、その上面がこのX円弧面に当接してこのX円弧面に沿って回動する第2可動ブロックと、前記第2可動ブロックの下方にあってバンプ付電子部品を真空吸着する吸着ツールとから成ることを特徴とするバンプ付電子部品の圧着装置。
IPC (2件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/603
H01L 21/60 311 T
, H01L 21/603 C
