特許
J-GLOBAL ID：200903090146193468
プラズマディスプレイパネルの製造方法及び熱処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
内藤 照雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-373379
公開番号（公開出願番号）：特開2004-206983
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：
【課題】プラズマディスプレイパネル製造時の熱処理工程において発生する不純物の大気中への拡散を防止する。【解決手段】熱処理装置10の上部に排気経路として複数(3本)の第1の排気配管11(11a、11b、11c)が設けられ、熱処理装置10の内部から発生した排気ガス12(12a、12b、12c)がそれぞれの排気配管11(11a、11b、11c)に排出され、第1の排気配管11(11a、11b、11c)の出口に触媒ユニット13(13a、13b、13c)の入口が接続され、この触媒ユニット13(13a、13b、13c)の出口に第2の排気配管14(14a、14b、14c)が接続され、第2の排気配管14(14a、14b、14c)の排気口16(16a、16b、16c)から熱処理装置10の外部(例えば大気中)に排気ガス15(15a、15b、15c)が排出される。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板上に樹脂成分及び/又は溶剤成分を含む前駆体層を形成する工程と、前記前駆体層が形成された基板を熱処理する熱処理工程と、から成る構造物形成工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記熱処理工程において発生する排気ガス中に含まれる不純物を触媒の作用により分解することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (4件)：
H01J9/02
, H01J9/20
, H01J9/227
, H01J11/02
H01J9/02 F
, H01J9/20 A
, H01J9/227 E
, H01J11/02 B
5C027AA01
, 5C027AA05
, 5C027AA09
, 5C027AA10
, 5C028FF14
, 5C028FF16
, 5C040GC19
, 5C040GD09
, 5C040GF19
, 5C040GG09
, 5C040JA21
, 5C040JA31
