特許
J-GLOBAL ID：200903090183523060

荷電粒子線装置及び試料像観察方法

発明者：
兼岡 則幸

兼岡 則幸 について

, 
金澤 大介

金澤 大介 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-401590
公開番号（公開出願番号）：特開2003-203594
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：
【要約】【課題】 離れた場所に設置した遠隔操作端末に高品質の画像を表示する。【解決手段】 画像を圧縮する画像符号化手段と復元する画像復号化手段を備え、荷電粒子ビームの走査速度や走査範囲に応じて、符号化方式と復号化方式を最適化する。
請求項（抜粋）：
荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出された荷電粒子線を細く絞って試料上に二次元走査する手段と、前記荷電粒子線の照射によって試料から発生した試料信号を検出する検出手段と、前記検出手段の出力に基づく画像データを記憶する画像メモリと、前記画像メモリに記憶された画像データを圧縮する画像データ圧縮手段と、前記画像データ圧縮手段で圧縮された圧縮画像データを伝送路に送信する伝送インタフェースとを備えた荷電粒子線装置において、前記画像データ圧縮手段は、画像データを圧縮度が高いが画像復元度が低い符号化方式によって符号化する第1の画像符号化手段と、画像データを圧縮度が低いが画像復元度が高い符号化方式によって符号化する第2の画像符号化手段と、前記第1の画像符号化手段を用いるか第2の画像符号化手段を用いるかを選択する選択手段とを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
H01J 37/24 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
H01J 37/24 ,  H01L 21/66 J
Fターム (4件)：
4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB05 ,  4M106DB30
引用特許：
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM