パターン検査装置及び方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-116202
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318326
出願日： 1994年05月30日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】本発明は、微細な回路パターンを高い分解能で検出する方法及び装置を提供することにある。【構成】対物レンズの瞳或いはこれに共役な位置に結像するレンズを介して瞳を検出する手段と、これにより検出した画像情報を用いて回折光分布、例えば0次回折光と±1次回折光の分布情報を得、これらが開口内にバランス良く配置されるように、輪帯状の照明を制御する。【効果】輪帯状の照明により0次光をウェーハに対し斜めに入射し、反射光である0次回折光と1次回折光(+1次回折光或いは-1次回折光のいずれか)を対物レンズの開口内に取り込むことにより、十分な分解能を得る。さらに、反射光である0次回折光と1次回折光(+1次回折光或いは-1次回折光のいずれか)を光軸に対しバランスさせることにより、種々の回路パターンに対応できる。

請求項（抜粋）：

多数の仮想の点光源から形成された輪帯状の照明を、対物レンズを介して対象物の検出視野においてほぼ一様に施す照明手段と、対象からの反射光を検出する手段と、検出した画像と基準とする画像を比較する手段を有し、上記構成により検出された画像を基準とする画像と比較することを特徴とするパターン検査装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283640 出願人：キヤノン株式会社
パターン検査方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-181540 出願人：株式会社日立製作所
特開平3-209843

審査官引用 (1件)

照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283640 出願人：キヤノン株式会社

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