特許

J-GLOBAL ID：200903090213064848

高密度焼結体用酸化インジウム粉末

発明者： 持田 裕美 ,  田中 道広
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164469
公開番号（公開出願番号）：特開平10-095615
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 ITO膜の製造に用いるターゲット材原料として最適な高密度焼結体が得られる酸化インジウム粉末の提供【解決手段】平均粒径が3.0μm以下であって平均粒径とピーク粒径の比が3倍以下であり、比表面積(BET値)10m2/g以下、結晶子径900Å以上であることを特徴とする高密度焼結体用酸化インジウム粉末。

請求項（抜粋）：

平均粒径が3.0μm以下であって平均粒径とピーク粒径の比が3倍以下であり、比表面積(BET値)10m2/g以下、結晶子径900Å以上であることを特徴とする高密度焼結体用酸化インジウム粉末。

IPC (3件)：

C01G 15/00 ,  H01B 13/00 503 ,  C23C 14/34

FI (3件)：

C01G 15/00 B ,  H01B 13/00 503 B ,  C23C 14/34 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 金属酸化物粉末およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-209211   出願人：住友化学工業株式会社