回転駆動装置及びこれを用いたディスク原盤製造装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤村元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-026746
公開番号（公開出願番号）：特開2002-230845
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【目的】小型化が可能で回転性能に優れ、高電圧供給機能を備えた高性能回転駆動装置及びこれを用いたディスク原盤製造装置を提供する。【解決手段】スピンドルシャフト内に収容された高電圧線の一部が露出したスピンドルチャンバ内の空間に絶縁性気体を導入する手段を有する。

請求項（抜粋）：

スピンドルチャンバと、前記スピンドルチャンバから1端部が露出しつつ収容され気体軸受によって回転自在に支持されたスピンドルシャフトと、前記スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、前記スピンドルチャンバと前記スピンドルシャフトとの間隙に介在する圧力シールと、前記スピンドルシャフト内に収容され、一部が前記スピンドルチャンバ内の空間に露出した高電圧線と、を備えた回転駆動装置であって、前記高電圧線が露出した空間に絶縁性気体を導入する手段を有することを特徴とする回転駆動装置。

IPC (4件)：

G11B 7/26 501 , H01J 37/30 , H02K 7/08 , G11B 19/20

FI (4件)：

G11B 7/26 501 , H01J 37/30 Z , H02K 7/08 B , G11B 19/20 C

Fターム (16件)：

5C034AA02 , 5C034AB07 , 5D121AA02 , 5D121BB32 , 5D121BB38 , 5D121BB40 , 5H607BB01 , 5H607CC01 , 5H607CC03 , 5H607DD05 , 5H607DD08 , 5H607DD10 , 5H607DD14 , 5H607FF01 , 5H607GG07 , 5H607GG14

引用特許：

出願人引用 (6件)

試料保持機,半導体製造装置,半導体検査装置,回路パタ-ン検査装置,荷電粒子線応用装置,校正用基板,試料の保持方法,回路パタ-ン検査方法、および、荷電粒子線応用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-111790 出願人：株式会社日立製作所
回転駆動機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-126892 出願人：パイオニア株式会社
磁気ディスクの静電荷の非接触除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-274099 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社

全件表示

前のページに戻る