特許

J-GLOBAL ID：200903090220496664

キノンジアジドスルホン酸エステルの製法及び該製法により得られたキノンジアジドスルホン酸エステルを含有してなる感放射線性樹脂組成物

発明者： 富岡 淳 ,  桑名 耕治 ,  植田 裕治 ,  中西 弘俊
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-039756
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250387
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 キノンジアジドスルホン酸エステルの新たな製法、並びに該製法により得られたキノンジアジドスルホン酸エステルを含有してなる感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 ヒドロキシル基を有する化合物とキノンジアジドスルホン酸ハライドとを溶媒中で塩基の存在下にエステル化させること、エステル化により得られた反応混合物を水中に注加してキノンジアジドスルホン酸エステルを結晶化させること、結晶化により得られたスラリーを1〜4時間攪拌すること、及び攪拌後、スラリーからキノンジアジドスルホン酸エステルを分離することを特徴とするキノンジアジドスルホン酸エステルの製法、並びに上記製法により得られたキノンジアジドスルホン酸エステル及びアルカリ可溶性樹脂を含有してなる感放射線性樹脂組成物。【効果】 上記製法により保存安定性の良好な感放射線性樹脂組成物が得られ、該組成物を用いると集積回路作製時の歩留りを良好にすることができる。

請求項（抜粋）：

ヒドロキシル基を有する化合物とキノンジアジドスルホン酸ハライドとを溶媒中で塩基の存在下にエステル化させること、エステル化により得られた反応混合物を水中に注加してキノンジアジドスルホン酸エステルを結晶化させること、結晶化により得られたスラリーを1〜4時間攪拌すること、及び攪拌後、スラリーからキノンジアジドスルホン酸エステルを分離することを特徴とするキノンジアジドスルホン酸エステルの製法。

IPC (4件)：

G03F 7/022 ,  C07C303/28 ,  C07C309/69 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ラクトン溶媒を使用してのナフトキノンジアジドエステルの製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-361204   出願人：ヘキスト・セラニーズ・コーポレーシヨン
• 特開昭63-267941
  
• 集積回路製造用ポジ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-114885   出願人：三菱化成株式会社
• 特開昭63-267941