含フルオロポリマー及びこれを含む化学増幅型レジスト組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-326660
公開番号（公開出願番号）：特開2002-338634
出願日： 2001年10月24日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】パーフルオロ-2,2-ジメチル-1,3-ジオキソルから誘導される繰返し単位を含むポリマーと、これを含む化学増幅型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 (a)(a-1)パーフルオロ-2,2-ジメチル-1,3-ジオキソルから誘導される下記式で表される繰返し単位と、【化1】(a-2)ビニールから誘導される繰返し単位及びノルボルネンから誘導される繰返し単位よりなる群から選ばれる少なくとも一つのコモノマー繰返し単位よりなる感光性ポリマーと、(b)PAGとを含む組成物。

請求項（抜粋）：

(a)パーフルオロ-2,2-ジメチル-1,3-ジオキソルから誘導される下記式で表される繰返し単位と、【化1】(b)ビニールから誘導される下記式で表される繰返し単位とを含むことを特徴とするポリマー。【化2】(式中、R1は-H、-Clまたは-Fであり、R2及びR3は各々独立に-Hまたは-Fであり、R4は-H、-F、-CF3、-OCF3、-OCF2CF3、-OCF2CF2CF3、-CH2C(CF3)2OH、酸により分解可能な基を含むフルオロ化したアルキルオキシ基、C1〜C8のn-パーフルオロアルキル基、-ORF(式中、RFはC1〜C3のn-パーフルオロアルキル基)、-OQZ(式中、Qは0〜5個のエーテル酸素原子を含むパーフルオロ化アルキレン基であり、ここで、Q中のC及びO原子の合計は2〜10であり、Zは-COOR、-SO2F、-CN、-COFまたは-OCH3であり、ここで、RはC1〜C4のアルキル)である。)

IPC (10件)：

C08F234/00 , C08F210/02 , C08F214/06 , C08F214/18 , C08F216/02 , C08F216/14 , C08F232/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (10件)：

C08F234/00 , C08F210/02 , C08F214/06 , C08F214/18 , C08F216/02 , C08F216/14 , C08F232/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (54件)：

2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BG00 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J100AA02Q , 4J100AC03Q , 4J100AC21Q , 4J100AD07Q , 4J100AD07R , 4J100AE10Q , 4J100AE38Q , 4J100AR11Q , 4J100AR11R , 4J100AR32P , 4J100BA02Q , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04Q , 4J100BA04R , 4J100BA05Q , 4J100BA05R , 4J100BA06Q , 4J100BA06R , 4J100BA19Q , 4J100BA19R , 4J100BA20Q , 4J100BA20R , 4J100BA40Q , 4J100BA40R , 4J100BA57Q , 4J100BA57R , 4J100BB01Q , 4J100BB01R , 4J100BB07P , 4J100BB07Q , 4J100BB07R , 4J100BB12Q , 4J100BB12R , 4J100BB18P , 4J100BB18Q , 4J100BB18R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭58-038707
特開昭58-103385
特表平3-502585

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審査官引用 (8件)

特開昭58-038707
特開昭58-038707
特開昭58-103385

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