特許

J-GLOBAL ID：200903090236682492

軟X線用多層膜

発明者： 新部 正人 ,  福田 恵明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-142295
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005296
出願日： 1993年06月14日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【構成】 屈折率の異なる2種の薄膜がそれぞれ所定の膜厚で交互に積層された構造の軟X線多層膜において、屈折率の低い方の薄膜を、組成式CoxCr1-x(式中、xは0.3ないし0.8の数字である。)を有するコバルトとクロムの合金とする。【効果】 短周期で、界面粗さが小さい、しかも波長100Å以下の軟X線を高い反射率で反射する多層膜を得ることができる。

請求項（抜粋）：

屈折率の異なる2種の薄膜がそれぞれ所定の膜厚で交互に積層してなる軟X線用多層膜において、屈折率の低い方の薄膜が、主としてコバルト(Co)とクロム(Cr)の合金より成り、しかも該合金の組成式がCoxCr1-x(式中、xは0.3ないし0.8の数字である。)であることを特徴とする軟X線用多層膜。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• X線光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-063790   出願人：日本電信電話株式会社