特許

J-GLOBAL ID：200903090269214796

光学部品の温度を安定化するための方法、装置および安定化手段を備えた走査型顕微鏡

発明者： ヨハン エンゲルハルト
出願人/特許権者： ライカ ミクロジュステムス ハイデルベルク ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 加藤 朝道 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-184471
公開番号（公開出願番号）：特開2002-072160
出願日： 2001年06月19日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】 走査型顕微鏡における光学部品の温度を安定化すること。【解決手段】 本発明は、増設されるアセンブリの数をできるだけ少なくしたまま、できるだけ簡単に、省スペースで安定した態様で部品の温度を一定値に保持できるよう、好ましくは走査型顕微鏡、特に共焦点走査型顕微鏡における光学部品、特に光学的にアクティブな部品、電気光学部品または音響光学部品の温度を安定化するための方法および装置に関し、部品と相互作用するエネルギーが安定化のために働くことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光ビームを偏向させるための光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギーの入力パワーを測定する工程と、光学的にアクティブな部品と相互作用するエネルギーを非偏向状態にスイッチングし、よって平均入力パワーを一定のレベルに維持する工程とを備えた、光学的にアクティブな部品の温度を安定化する方法。

IPC (4件)：

G02F 1/11 502 ,  G02B 21/00 ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/33

FI (4件)：

G02F 1/11 502 ,  G02B 21/00 ,  G02F 1/03 502 ,  G02F 1/33

Fターム (20件)：

2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H079AA02 ,  2H079AA04 ,  2H079CA07 ,  2H079EB21 ,  2H079HA22 ,  2H079HA23 ,  2K002AA07 ,  2K002AB03 ,  2K002AB07 ,  2K002BA12 ,  2K002EB15 ,  2K002GA05 ,  2K002HA03 ,  2K002HA10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭48-090539
  
• AOTFを備えたレ-ザ-走査式顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-143181   出願人：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

審査官引用 (2件)

• 特開昭48-090539
  
• AOTFを備えたレ-ザ-走査式顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-143181   出願人：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング