特許
J-GLOBAL ID：200903090277404383
ウエーハの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-147694
公開番号（公開出願番号）：特開平7-001442
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】ワイヤーソーによりインゴットを切断してウエーハを製造する方法において、ワイヤーソーのローラー表面直近の温度を制御すること、特にはワイヤーソーのローラー表面直近の温度制御が、温度制御された砥粒スラリーを該ローラー表面に掛け流しすることおよび砥粒スラリー温度制御用温度センサーをローラー表面付近の位置に設置することからなるウエーハの製造方法。【効果】ワイヤーソーによるインゴットの切断時に発生するウエーハの表面うねりを抑制し、厚さのばらつき精度を向上させることができる。
請求項（抜粋）：
ワイヤーソーによりインゴットを切断してウエーハを製造する方法において、ワイヤーソーのローラー表面直近の温度を制御することを特徴とするウエーハの製造方法。
IPC (5件)：
B28D 5/04
, B24B 27/06
, B24B 49/14
, B28D 1/22
, H01L 21/304 311
