光弾性変調器を用いたフーリエ変換赤外線分光の複数の変調測定のためのデジタル信号処理技術

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-506498
公開番号（公開出願番号）：特表2001-517774
出願日： 1998年08月06日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：

【要約】ステップ走査FT-IR分光計において偏光光弾性変調(PEM)を用いて複数の変調測定を実行するためのデジタル信号処理(DSP)技術。PEM駆動信号の周波数と位相は、実際の測定のために集められたデジタル化されたデータから抽出される。そして、これは偏光信号(例えば、CD、LD、DIRLD)の所望の解析の実行のために用いることができる。これは、PEM周波数の最初の推定値(典型的には名目的PEM周波数ω0または前のステップでから決定された値で出発する)を連続的に洗練することにより達成される。これは位相誤差を計算するためにPEM周波数の現在推定値を使用し、そしてPEM周波数の推定値を洗練するために計算された位相誤差を使用することによりなされる。位相誤差は、サンプリング間隔内でサンプルの異なる組を使用して計算される。

請求項（抜粋）：

干渉計と、検出器と、デジタルプロセッサと、を有するステップ走査フーリエ変換分光計にあって、変調信号の変調位相および変調周波数を抽出するためのデジタル方法において、検出器からのアナログ信号出力に対応する一連の離散したデジタル値を獲得し、前記一連の離散値はサンプリング間隔にわたる時間依存性を有し、前記時間依存性は変調信号から生ずる成分を含み、第1の位相誤差を決定するために少なくともいくつかの離散値を処理するため、名目的変調周波数において名目的変調信号を使用し、第1の洗練された変調周波数を提供するために第1の位相誤差および名目的変調周波数を使用するという各ステップを有する方法。

IPC (6件)：

G01J 3/45 , G01B 9/02 , G01N 21/19 , G01N 21/21 , G01N 21/27 , G01N 21/35

FI (6件)：

G01J 3/45 , G01B 9/02 , G01N 21/19 , G01N 21/21 Z , G01N 21/27 Z , G01N 21/35 Z

Fターム (47件)：

2F064AA15 , 2F064BB05 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG51 , 2F064GG70 , 2F064HH01 , 2F064HH05 , 2F064JJ00 , 2F064JJ15 , 2G020AA03 , 2G020CA12 , 2G020CB05 , 2G020CB23 , 2G020CB42 , 2G020CC22 , 2G020CC47 , 2G020CC52 , 2G020CD03 , 2G020CD12 , 2G020CD13 , 2G020CD15 , 2G020CD16 , 2G020CD22 , 2G020CD33 , 2G020CD34 , 2G020CD35 , 2G020CD38 , 2G059AA02 , 2G059EE05 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059FF08 , 2G059GG01 , 2G059GG03 , 2G059GG06 , 2G059HH01 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059JJ23 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059MM03 , 2G059MM14 , 2G059MM17

引用特許：

審査官引用 (2件)

偏光変調赤外分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-209154 出願人：株式会社日立製作所
特開平2-276928

引用文献：

審査官引用 (1件)

“Step-Scanning Interferometer with Digital Signal Processing”

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