特許
J-GLOBAL ID：200903090310821637

単結晶ダイヤモンド

発明者：
山本 喜之

山本 喜之 について

, 
目黒 貴一

目黒 貴一 について

, 
今井 貴浩

今井 貴浩 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (4件)： 酒井 正己 ,  小松 秀岳 ,  加々美 紀雄 ,  小松 純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-402410
公開番号（公開出願番号）：特開2005-162525
出願日： 2003年12月02日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】結晶全体にわたって、250nmまでの紫外域において透明で、かつ結晶欠陥や歪み、不純物の小さいダイヤモンド単結晶の提供。【解決手段】単結晶ダイヤモンドを、結晶全体にわたり、(400)面X線ロッキングカーブの半値幅が10〜80秒の範囲内にあり、炭素原子に対する水素原子の数が10〜100ppm、炭素原子に対する窒素原子の数が5ppm以下、光散乱トモグラフ法によって評価した結晶欠陥の数を1平方センチメートルあたり1×105個以下であるようにする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
結晶全体にわたり、 (400)面X線ロッキングカーブの半値幅が10〜80秒の範囲内にあり、かつ 炭素原子に対する水素原子の数が、10〜100ppmの範囲内にあり、かつ 炭素原子に対する窒素原子の数が 5ppm以下である ことを特徴とする単結晶ダイヤモンド。
IPC (2件)：
C30B29/04 ,  C23C16/27
FI (2件)：
C30B29/04 E ,  C23C16/27
Fターム (20件)：
4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077AB01 ,  4G077AB02 ,  4G077AB03 ,  4G077AB08 ,  4G077AB09 ,  4G077BA03 ,  4G077DB19 ,  4G077HA01 ,  4G077HA12 ,  4G077TA04 ,  4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030FA01 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030LA01 ,  4K030LA11
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開平3-75298号公報
  • ダイヤモンド単結晶
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-162085   出願人：住友電気工業株式会社
審査官引用 (4件)
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