特許
J-GLOBAL ID：200903090317724270
レーザ印字方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-048432
公開番号（公開出願番号）：特開平9-220686
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 レーザヘッドのレーザ光出射軸と同軸で観察可能な撮像光学系を配置することで、被印字物を移動させることなくレーザ印字直後の印字面の観察及び印字結果の良否判定を可能とし、印字不良の迅速な発見を可能とするとともに、レーザ印字の後工程で独立した検査手段による検査を不要とする。【解決手段】 レーザ発振器1からのレーザ光をレーザヘッド40で走査して被印字物20の印字面にレーザ印字する場合に、前記レーザヘッド40のレーザ光出射軸と同軸の撮像光学系を通して撮像カメラにより前記被印字物20を移動させることなくレーザ印字後の印字面を撮像し、画像処理装置42で画像処理する構成である。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器からのレーザ光をレーザヘッドで走査して被印字物の印字面にレーザ印字するレーザ印字方法において、前記レーザヘッドのレーザ光出射軸と同軸の撮像光学系を通して撮像カメラにより前記被印字物を移動させることなくレーザ印字後の印字面を撮像することを特徴とするレーザ印字方法。
IPC (3件)：
B23K 26/02
, B23K 26/00
, H01L 21/02
B23K 26/02 C
, B23K 26/00 B
, H01L 21/02 A
