特許

J-GLOBAL ID：200903090318135260

静電吸着電極およびその製作方法

発明者： 高橋 主人 ,  伊藤 陽一 ,  金井 三郎 ,  菅野 誠一郎
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-247537
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148420
出願日： 1996年09月19日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】ウエハの大口径化に対応した静電吸着電極を精度良くかつ容易に製作できるようにする。【解決手段】第1の電極11に第2の電極12を嵌合する凹部を設け、その凹部に絶縁膜13を形成し、該凹部に第2の電極12をはめ込んで固定し、第1及び第2の電極面が同一平面となるように加工して、その上に溶射にて静電吸着膜14を形成し、溶射による静電吸着膜14を所定の厚さとなるように研磨する。これにより、大口径ウエハ9に容易に対応することができる。

請求項（抜粋）：

第1の電極と第2の電極に電圧を印加して基板を吸着する静電吸着電極において、前記第1の電極に第2の電極をはめ込む凹部を設け、該凹部を含めた第1の電極表面に絶縁膜を形成して該凹部に前記第2の電極をはめ込んで固定し、前記固定した第1の電極と前記第2との両電極表面に絶縁膜を形成して成ることを特徴とする静電吸着電極。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電チャック及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-162412   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 特開昭58-137536