特許
J-GLOBAL ID：200903090387216817

搬送室、基板処理装置および基板の異常検出方法

発明者：
岡部 星児

岡部 星児 について

, 
末木 英人

末木 英人 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-256468
公開番号（公開出願番号）：特開2007-073599
出願日： 2005年09月05日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：
【課題】大型のFPD基板の搬送室内における位置ずれや欠けなどの異常を確実に検出できる基板処理装置および基板の異常検出方法を提供する。【解決手段】搬送装置のスライドピック513に基板Sを載置し、搬送室20内からゲート開口22dを介してプロセスチャンバへ搬入する際に、左右に配備された一対のセンサ70,70によって基板Sの両端部近傍の破線A,Bで示す部位に光線を照射し、その反射率または透過率から、基板Sの位置ずれや欠陥などの検出を行う。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
矩形の基板に対して所定の処理を行う処理室に隣接配備され、該処理室へ基板を搬送する搬送装置を備えた搬送室であって、 前記搬送装置により搬送される基板を搬入出する開口部と、 前記開口部に対応してその近傍に、基板の幅よりも狭い間隔で配置された一対の光学センサと、 を備えたことを特徴とする、搬送室。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/06
FI (4件)：
H01L21/68 F ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z
Fターム (27件)：
5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB15 ,  5F004BC05 ,  5F004BC06 ,  5F004BD01 ,  5F004BD03 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA04 ,  5F031GA47 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA36 ,  5F031JA40 ,  5F031KA02 ,  5F031LA13 ,  5F031MA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA18
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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