特許
J-GLOBAL ID:200903090400321641
ノズル、凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伴 俊光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-216942
公開番号(公開出願番号):特開平11-309402
出願日: 1998年07月31日
公開日(公表日): 1999年11月09日
要約:
【要約】【課題】 プラズマディスプレイのように一定の凹凸状パターンが形成された基材の凹部に所定の塗液を塗布するに際し、各吐出孔から均一に塗液を吐出して、各凹部に塗布される量を均一にし、それによって、高生産性と高品質を可能とするノズル並びに凹凸基材への塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイの製造装置および方法を提供する。【解決手段】 表面に一定ピッチで凹凸部が形成されている基材を固定するテーブルと、マニホールド部および基材の凹凸部と対面して複数の吐出孔を有し、かつ、該吐出孔の開口方向の軸を含む断面形状が、各々その開口軸に対して軸対称であるノズルと、ノズルに塗液を供給する供給手段と、テーブルとノズルを3次元的に相対移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする凹凸基材への塗液の塗布装置、およびその塗布方法、並びにそれを用いたプラズマディスプレイの製造装置および方法。
請求項(抜粋):
表面に一定ピッチで凹凸部が形成されている基材を固定するテーブルと、マニホールド部および基材の凹凸部と対面して複数の吐出孔を有し、かつ、該吐出孔の開口方向の軸を含む断面形状が、各々その開口軸に対して軸対称であるノズルと、ノズルに塗液を供給する供給手段と、テーブルとノズルを3次元的に相対移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする凹凸基材への塗液の塗布装置。
IPC (3件):
B05C 11/00
, H01J 9/227
, H01J 17/04
FI (3件):
B05C 11/00
, H01J 9/227 E
, H01J 17/04
引用特許:
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