特許
J-GLOBAL ID：200903090400729608
気体の貯蔵・送出方法及び気体の貯蔵・送出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松川 克明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-034460
公開番号（公開出願番号）：特開平11-082891
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 特定の相当量の気体化合物を効率よく吸着し、安全、安定に貯蔵し、該気体の大気への放出を抑制しつつ安全にかつ効率よく送出する方法及び装置を提供する。【解決手段】 所定量の用いる水素化化合物またはハロゲン化化合物気体をフェノール樹脂を主原料とする活性炭と接触させて、大気圧以下の貯蔵環境下で該活性炭に吸着させて貯蔵し、吸着した該気体の少なくとも一部を脱着して、作業環境下へ送出する方法および装置による。また、水素化化合物及びハロゲン化化合物気体と密閉空間内で事前に接触させて吸着させる吸着工程と、該吸着反応を経た系を反応促進する工程と、該反応促進工程を経た該気体を該密閉空間から排出する排出工程の一連の工程により活性炭を処理する方法および装置による。
請求項（抜粋）：
所定量の水素化化合物又はハロゲン化化合物気体を高純度活性炭と接触させて、大気圧以下の貯蔵環境下で該活性炭に吸着させて貯蔵し、吸着した該気体の少なくとも一部を脱着して、作業環境下へ送出するために、負圧に引くことを特徴とする、水素化化合物又はハロゲン化化合物気体を貯蔵しその後に送出する方法。
IPC (6件)：
F17C 11/00
, B01D 53/02
, C01B 6/06
, C01B 31/08
, H01L 21/265
, H01L 21/205
F17C 11/00 A
, B01D 53/02 Z
, C01B 6/06
, C01B 31/08 A
, H01L 21/205
, H01L 21/265 603 Z
