特許
J-GLOBAL ID:200903090464815826

レーザビーム均質化用光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 筒井 大和 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-508983
公開番号(公開出願番号):特表2000-502190
出願日: 1996年08月06日
公開日(公表日): 2000年02月22日
要約:
【要約】光学装置は、レーザビームの伝播方向に対して垂直方向に、m列、n行に配置され、均質化されるべきレーザビームを各々が実質的に同様な断面を有しかつ実質的に一様なエネルギ分布を有するm×nのレーザービームに分割可能であるような、複数の隣接する前方レンズを含んでいる。アッセンブリ手段は、個々の前方レンズを、結合された前方レンズ(LF)を通る光ビームの軌道を妨げないように相互に結合する。レンズは、接着および/またはクランプによって結合され得る。
請求項(抜粋):
レーザビームの伝播方向に対して垂直に、m列およびn行に配置され、処理されるべきレーザビームを、各々が実質的に同様な断面を有し、かつ実質的に一様なエネルギ分布を有するm×n本のレーザビームに分割可能な複数の隣接した前方レンズ(LF)を備えたレーザビームを均質化する光学装置において、 前方レンズを、連結された前方レンズを通過する光ビームの軌道を妨害しないように、接着および/またはクランプによってそれぞれ相互に端縁同士を連結可能な連結手段を有することを特徴とする光学装置。
IPC (4件):
G02B 27/09 ,  B23K 26/06 ,  G02B 3/00 ,  G02B 7/02
FI (4件):
G02B 27/00 E ,  B23K 26/06 Z ,  G02B 3/00 A ,  G02B 7/02 B
引用特許:
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る