特許

J-GLOBAL ID：200903090475772835

炭化珪素膜付部材および圧電共振子

発明者： 西川 洋行
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-091775
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286669
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】硬度が大きい多結晶炭化珪素膜の自立膜を支持膜として用いることにより、支持膜の強度を向上できるとともに、共振周波数の高周波化を促進できる多結晶炭化珪素膜付部材および圧電共振子を提供する。【解決手段】炭化珪素膜付部材は、基体1と、該基体1に設けられた空間2と、該空間2を被覆するように基体1に設けられ、かつ硬度が300GPa以上の多結晶炭化珪素膜からなる支持膜3とを具備するもので、圧電共振子は、上記多結晶炭化珪素膜からなる支持膜3上に、圧電体薄膜5の両面に電極6、7を形成した振動体8を形成したものである。

請求項（抜粋）：

基体と、該基体に設けられた空間と、該空間を被覆するように前記基体に設けられ、かつ硬度が300GPa以上の多結晶炭化珪素膜からなる支持膜とを具備することを特徴とする炭化珪素膜付部材。

IPC (3件)：

H03H 9/17 ,  C04B 35/46 ,  C04B 35/49

FI (3件)：

H03H 9/17 F ,  C04B 35/46 K ,  C04B 35/49 A

Fターム (14件)：

4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA26 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  5J108BB04 ,  5J108CC01 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108KK01 ,  5J108KK03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 本質的にα型炭化ケイ素製のセラミック材料とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-010993   出願人：セラミーク・エ・コンポジット・ソシエテ・アノニム
• 高速表面弾性波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-293711   出願人：工業技術院長
• 特公平3-056013
  
• 特公平3-056013