高速表面弾性波素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院九州工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-293711
公開番号（公開出願番号）：特開平8-130439
出願日： 1994年11月01日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：

【要約】【目的】高速表面弾性波素子として、従来のダイヤモンドや単結晶基板を用いた場合と同レベルまたはそれ以上の音速特性を有するものを、作製が容易で安価な材料により提供する。【構成】多結晶性炭化物系、窒化物系、ホウ化物または酸化物系セラミックスからなる基板上に、圧電性セラミックス薄膜を施してなる複合材料により、高速表面弾性波素子を構成する。【効果】基板を多結晶性炭化珪素により構成し、圧電性セラミックス薄膜をc軸に配向した窒化アルミニウム薄膜とした場合において、薄膜の挿入損失の減少は、42.5MHz付近に見られ、音速が6800m/sという高い値が得られている。

請求項（抜粋）：

多結晶性炭化物系、窒化物系、ホウ化物または酸化物系セラミックスからなる基板上に圧電性セラミックス薄膜を施してなる複合材料により構成したことを特徴とする高速表面弾性波素子。

引用特許：

審査官引用 (10件)

表面弾性波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-000371 出願人：株式会社東芝
特開平2-248110
弾性表面波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-280335 出願人：テイーデイーケイ株式会社

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