投影光学装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：池田憲保 , 福田修一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-086418
公開番号（公開出願番号）：特開2006-267633
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】反射鏡の設置誤差が結像特性に与える影響を小さく抑えた反射型投影光学装置の提供。【解決手段】物体(i=0)からでた光を反射光として反射させる第1の反射面を有する第1の素子(i=1)と、前記反射光を反射させ像面(i=3)に結像させる第2の反射面を有する第2の素子(i=2)とを、備えた投影光学装置において、少なくとも球面収差、コマ収差、及び非点収差が補正され、第1の素子(i=1)は、前記第1の反射面として、非球面の反射面を有し、第2の素子(i=2)は、前記第2の反射面として、非球面の反射面を有する。好ましくは、第1の素子(i=1)及び第2の素子(i=2)は、光軸に対して回転対称な非球面の反射面を有する。より好ましくは、第1の素子(i=1)の近軸マージナル光線の光線高比γ1が、例えば、 0.5≦γ1<1 の領域にある。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

物体からでた光を反射光として反射させる第1の反射面を有する第1の素子と、前記反射光を反射させ像面に結像させる第2の反射面を有する第2の素子とを、備えた投影光学装置において、少なくとも球面収差、コマ収差、及び非点収差が補正され、前記第1の素子は、前記第1の反射面として、非球面の反射面を有し、前記第2の素子は、前記第2の反射面として、非球面の反射面を有することを特徴とする投影光学装置。

IPC (3件)：

G02B 17/00 , G02B 27/18 , H01L 21/027

FI (3件)：

G02B17/00 A , G02B27/18 Z , H01L21/30 515D

Fターム (7件)：

2H087KA06 , 2H087TA00 , 2H087TA04 , 2H087TA06 , 5F046CB03 , 5F046CB25 , 5F046GB01

引用特許：

審査官引用 (15件)

反射光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-294596 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平2-234100
特開平2-234100

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引用文献：

審査官引用 (3件)

The Couder telescope-better than the Schmidt?
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