特許

J-GLOBAL ID：200903090507911425

レチクルステージ及びレチクルの面形状補正方法

発明者： 篠浦 巳有紀
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (11件)： 前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-282802
公開番号（公開出願番号）：特開2008-103410
出願日： 2006年10月17日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
要約：

【課題】レチクルにダメージを与えることなくレチクルの面形状を補正可能なレチクルステージ及びレチクルの面形状補正方法を実現できるようにする。【解決手段】レチクルステージは、中央部に光が透過する窓部11aを有するステージ本体11と、ステージ本体11における窓部11aの両側に設けられた可動チャック部12とを備えている。可動チャック部12は、レチクルを保持する保持面12aを有し、保持面12aの基準面に対する傾きが調整可能である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ステージに保持されたレチクルの断面形状を計測するステップ(a)と、 計測した断面形状を表す近似式を求めるステップ(b)と、 前記近似式に基づいて補正量を算出するステップ(c)と、 前記補正量に基づいて、前記レチクルをステージに保持する保持面の傾きを調整するステップ(d)とを備えていることを特徴とするレチクルの面形状補正方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 515F ,  H01L21/30 516A ,  G03F7/20 521

Fターム (6件)：

5F046BA03 ,  5F046CC02 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05 ,  5F046DA13 ,  5F046DB04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• レチクルホルダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-235688   出願人：株式会社ニコン