特許
J-GLOBAL ID：200903090508062014
測定方法及び測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-285852
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055282
出願日： 2003年08月04日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】測定装置が本来有している測定誤差を補正するにあたり、ユーザーが容易に実施でき、また測定装置の各部品が設計値に対して誤差を有していても正確な補正を行なうことができる、幾何学的誤差補正方法を用いた高精度な測定方法、及び測定装置を提供すること。【解決手段】測定装置10が本来有する幾何学的な測定誤差を補正する補正計算式に代入された設計値のうちの複数の設計値を変数として、その変数を数値解法により最適化し、得られた最適補正計算式を用いて測定値を演算するようにした。 変数の最適化にあたって、マスターワークを測定し、測定誤差が最小となるように変数を調整するようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
接触子をワークに当接させ、該ワークの寸法を測定する測定方法において、
測定装置が本来有する幾何学的な測定誤差を補正するための、設計値を基にした補正計算式を記憶し、
ワークを測定して前記補正計算式を用いた測定値を演算し、
前記演算された測定値と真の値との誤差が最小となるように、前記補正計算式中に代入された設計値のうちの複数の設計値を変数として該変数を数値解法により最適化し、
前記最適化された変数が代入された最適補正計算式を記憶し、
以後の測定においては、前記最適化補正計算式を用いて測定値を演算することを特徴とする測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (25件)：
2F062AA21
, 2F062AA32
, 2F062AA51
, 2F062AA61
, 2F062AA66
, 2F062BB03
, 2F062BB04
, 2F062BB07
, 2F062BC56
, 2F062DD07
, 2F062DD17
, 2F062DD32
, 2F062EE05
, 2F062EE14
, 2F062EE63
, 2F062FF17
, 2F062FG07
, 2F062GG41
, 2F062GG51
, 2F062GG66
, 2F062HH05
, 2F062HH13
, 2F062HH22
, 2F062JJ04
, 2F062JJ06
出願人引用 (1件)
-
寸法測定装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-176252
出願人：株式会社東京精密
審査官引用 (2件)
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