特許
J-GLOBAL ID：200903040599747238
表面性状測定機の校正方法、表面性状測定機の校正プログラム、この校正プログラムを記録した記録媒体および表面性状測定機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-129882
公開番号（公開出願番号）：特開2004-333312
出願日： 2003年05月08日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】従来、表面性状測定機の校正では、時間と手間と熟練を要するものであった。そこで、簡便に、かつ、精密に表面性状測定機を校正する表面性状測定機の校正方法を提供する。【解決手段】基点を支点として揺動可能に支持され他端に被測定物表面を走査する測定子を有するアームを備え、被測定物の表面を測定する表面性状測定機の校正方法において、断面形状に略真円の一部を含む校正用ゲージを測定する測定工程と、校正用ゲージの中心座標を(xc、zc)とし半径をrとした円の式に基づく評価式に測定工程にて得られた検出結果を代入する代入工程と、代入工程にて得られた評価式に基づいて各パラメータを校正する校正工程とを備える。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基点を支点として揺動可能に支持されたアームと、前記アームの他端側に設けられ前記揺動により測定子の先端が描く円弧の略接線方向から被測定物に接触または近接する該測定子を先端に有するスタイラスと、前記測定子が前記被測定物の表面に当接あるいは近接した状態で前記アームをx方向に移動させる移動手段と、前記基点のx方向の変位を検出する第1検出手段と、前記アームの揺動によるz方向への変位を前記アーム上の点のz方向への変位量に基づいて検出する第2検出手段と、前記第1検出手段および前記第2検出手段の検出結果に対して前記揺動に起因するずれ量を補正して前記被測定物表面の測定データを得る補正演算手段とを備え、前記被測定物の表面を測定する表面性状測定機の校正方法において、
断面形状に略真円の一部を含む校正用ゲージを測定する測定工程と、
前記校正用ゲージの中心座標を(xc、zc)とし半径をrとした円の式に基づく評価式に前記測定工程にて得られた前記第1検出手段および前記第2検出手段の検出結果を代入する代入工程と、
前記代入工程にて得られた結果に基づいて前記第2検出手段の検出結果に対する前記測定子の先端のz座標のゲインと共に前記ずれ量に含まれる各パラメータを校正する校正工程と、を備える
ことを特徴とした表面性状測定機の校正方法。
IPC (3件)：
G01B5/00
, G01B5/20
, G01B21/00
G01B5/00 P
, G01B5/20 J
, G01B21/00 P
2F062AA04
, 2F062AA51
, 2F062DD21
, 2F062DD23
, 2F062DD33
, 2F062EE01
, 2F062EE22
, 2F062EE62
, 2F062FF03
, 2F062GG36
, 2F062GG65
, 2F062GG68
, 2F062GG71
, 2F062HH14
, 2F062JJ05
, 2F069AA04
, 2F069AA61
, 2F069GG01
, 2F069GG06
, 2F069GG71
, 2F069HH04
, 2F069HH11
, 2F069JJ04
, 2F069LL03
, 2F069NN17
