特許
J-GLOBAL ID：200903090576624730

架橋剤およびそれを用いた感光性樹脂組成物

発明者：
亀本 聡

亀本 聡 について

, 
弓場 智之

弓場 智之 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-070951
公開番号（公開出願番号）：特開2009-227697
出願日： 2008年03月19日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：
【課題】露光から露光後ベークまでの放置時間に関わらず高感度で現像時の膜厚減少が小さく、かつ硬化後の耐薬品性に優れた感光性樹脂組成物と、それに用いられる熱架橋剤を提供すること。 【解決手段】ヒドロキシメチル基および/またはアルコキシメチル基と、フェノール性水酸基とを有する化合物の、フェノール性水酸基の一部または全部が、熱、酸または塩基の作用により脱離可能な基で保護されたことを特徴とする架橋剤。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
ヒドロキシメチル基および/またはアルコキシメチル基と、フェノール性水酸基とを有する化合物の、フェノール性水酸基の一部または全部が、熱、酸または塩基の作用により脱離可能な基で保護されたことを特徴とする架橋剤。
IPC (8件)：
C08K 5/13 ,  C08F 2/44 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/027 ,  C08J 3/24 ,  C08L 79/04 ,  C08L 101/12
FI (9件)：
C08K5/13 ,  C08F2/44 B ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/037 ,  H01L21/30 502R ,  C08J3/24 Z ,  C08J3/24 ,  C08L79/04 Z ,  C08L101/12
Fターム (43件)：
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AB14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025CA07 ,  2H025CB24 ,  2H025CB25 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4F070AA55 ,  4F070AA56 ,  4F070AB12 ,  4F070AB17 ,  4F070AC37 ,  4F070AE08 ,  4F070GA04 ,  4F070GA06 ,  4F070GB09 ,  4F070GC09 ,  4J002CM021 ,  4J002CM041 ,  4J002ED056 ,  4J002EJ066 ,  4J002FD146 ,  4J002FD156 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ01 ,  4J011PA33 ,  4J011PA96 ,  4J011PA97 ,  4J011PB30 ,  4J011QC09 ,  4J011RA10 ,  4J011RA14 ,  4J011RA15 ,  4J011WA01
引用特許：
出願人引用 (3件)

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