ポジ型感光性樹脂前駆体組成物及びそれを用いた電子部品ならびに表示装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-041308
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328472
出願日： 2002年02月19日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)と、(b1)または(b2)と、(c)を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。(a)アルカリ水溶液に可溶性のポリアミド酸エステルおよび/またはポリアミド酸ポリマー。(b1)フェノール性水酸基含有熱架橋性化合物であって、一般式(1)で表される有機基R1で置換されたメチロール基を含有する化合物(但し、R1が水素原子の場合を除く)。【化1】(b2)熱架橋性化合物であって、一般式(2)で表される有機基R1で置換された尿素系有機基を含有する化合物。【化2】(c)エステル化したキノンジアジド化合物。

請求項（抜粋）：

(a)と、(b1)または(b2)と、(c)を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。(a)アルカリ水溶液に可溶性のポリアミド酸エステルおよび/またはポリアミド酸ポリマー。(b1)フェノール性水酸基含有熱架橋性化合物であって、一般式(1)で表される有機基R1で置換されたメチロール基を含有する(但し、R1が水素原子の場合を除く)化合物。【化1】(b2)熱架橋性化合物であって、一般式(2)で表される有機基R1で置換された尿素系有機基を含有する化合物。【化2】(c)エステル化したキノンジアジド化合物。

IPC (6件)：

G03F 7/037 , C08G 73/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (6件)：

G03F 7/037 , C08G 73/10 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/312 D , H01L 21/30 502 R

Fターム (101件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB45 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043PB03 , 4J043PB04 , 4J043PB23 , 4J043PB24 , 4J043PC025 , 4J043PC065 , 4J043PC145 , 4J043PC205 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB32 , 4J043RA06 , 4J043SA05 , 4J043SA06 , 4J043SA54 , 4J043SA62 , 4J043SA71 , 4J043SA82 , 4J043SA83 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA02 , 4J043TA12 , 4J043TA14 , 4J043TA21 , 4J043TA22 , 4J043TA32 , 4J043TA72 , 4J043TA75 , 4J043TA76 , 4J043UA032 , 4J043UA041 , 4J043UA042 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA261 , 4J043UA361 , 4J043UA381 , 4J043UA762 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB141 , 4J043UB152 , 4J043UB221 , 4J043UB231 , 4J043UB232 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA011 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA051 , 4J043VA052 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA071 , 4J043VA081 , 4J043VA082 , 4J043XB06 , 4J043XB07 , 4J043XB09 , 4J043ZA02 , 4J043ZA12 , 4J043ZA21 , 4J043ZA51 , 4J043ZB22 , 5F058AA10 , 5F058AC02 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH02 , 5F058AH03

引用特許：

出願人引用 (11件)

ポジ型感光性樹脂組成物およびポジ型感光性樹脂のパターン形成法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-024921 出願人：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社
保持性に優れたパターンの作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-000609 出願人：住友化学工業株式会社
感光性耐熱性樹脂前駆体組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-128166 出願人：東レ株式会社

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