特許
J-GLOBAL ID：200903090577147714
外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-098792
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288508
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 検査対象の視認性がよく、2次元画像処理と高さ計測を同一ステージで行える外観検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 2次元画像処理に適した画像を得ながら、対象物14に非接触で3次元計測が行えようにするため、光源1、2からなる2次元画像用照明と、2次元画像用照明により照らされた対象物の2次元画像を得るカメラ6と、対象物にレーザー光を照射する高さ変位量検出用半導体レーザスキャナ7などのレーザー投光部と、対象物からの反射レーザーを受光し対象物の高さ変位量を検出するレーザースポット受光位置検出素子13とを一体的に組み合わせている。
請求項（抜粋）：
2次元画像用照明と、前記2次元画像用照明により照らされた対象物の2次元画像を得るカメラと、対象物にレーザー光を照射するレーザー投光部と、対象物からの反射レーザーを受光し対象物の高さ変位量を検出するレーザースポット受光位置検出素子とを一体的に組み合わせたことを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/02 Z
, H01L 21/66 J
