特許
J-GLOBAL ID：200903090615533194
アライメント顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-320433
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147795
出願日： 1998年11月11日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 1台の顕微鏡で同時に低倍率と高倍率の画像を得ることができ、アライメントマークを感度よく検出できるアライメント顕微鏡を提供すること。【解決手段】 アライメント光によりマスクアライメントマークMAMを照明する。アライメント光はワークステージWSの反射部材WMで反射しペリクルP、レンズL1を介してハーフミラー12aに入射し光路が分岐される。ハーフミラー12aを透過した光は、低倍率のCCDカメラ11bに入射する。また、ハーフミラー12aにより反射された光は高倍率のCCDカメラ11aに入射する。上記のようにして得た画像からマスクアライメントマークの位置を検出して、制御部2の記憶部21に記憶した後、ワークステージWSにワークを載置してアライメント用照明光源15からアライメント光を照射してワークのアライメントマークの位置を検出し、マスクとワークの位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
マスクアライメントマークにアライメント光を照射し、ワークステージに設けた反射部材にマスクアライメントマークを投影し、該投影像をアライメント顕微鏡によって検出し、その位置を制御部に記憶し、次に、ワークステージ上に載置したワークのアライメントマークに、アライメント顕微鏡からアライメント光を照射して、ワークアライメントマークを上記アライメント顕微鏡によって検出し、制御部に記憶したマスクアライメントマーク像と、検出したワークアライメントマーク像とを重ね合わせることによって、マスクとワークの位置合せを行なう露光装置のアライメント顕微鏡において、結像系の光路を分岐し、一方の光路に粗アライメント用の第1の検出器を設け、もう一方の光路に上記第1の検出器より倍率が大きな精アライメント用の第2の検出器を設けたことを特徴とするアライメント顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 9/00 H
, H01L 21/30 525 R
5F046EA04
, 5F046EA13
, 5F046EA18
, 5F046EB01
, 5F046EB02
, 5F046EB03
, 5F046ED02
, 5F046ED03
, 5F046FA10
, 5F046FA18
, 5F046FB06
, 5F046FB07
, 5F046FB08
, 5F046FB12
, 5F046FB18
