特許

J-GLOBAL ID：200903090618957025

静電浮上システム

発明者： 樋口 俊郎 ,  胡 紹愉 ,  田 鍾業
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-131869
公開番号（公開出願番号）：特開平9-322564
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構造を有することにより、システムの信頼性を高めることができると共に、故障時の保守が容易であり、また安価でシステムの構成が可能であり、安定浮上させることができる静電浮上システムを提供する。【解決手段】 静電力を用いた静電浮上システムにおいて、絶縁基板上に導電体の電極パターン11a,11bが形成されている固定子10と、この固定子10に対向する浮上体20と、前記固定子10と前記浮上体20間のギャップを検出する近接スイッチ11cと、直流電圧を供給する電源70と、前記固定子10の電極への印加電圧のスイッチング動作を行うスイッチング回路40とを備え、前記近接スイッチ11cからのオン/オフ信号に基づいて前記スイッチング回路40で前記電源70からの直流電圧を前記固定子10の電極パターン11a,11bにスイッチングすることにより、前記浮上体20を安定浮上させる。

請求項（抜粋）：

静電力を用いた静電浮上システムにおいて、(a)絶縁基板上に導電体の電極パターンが形成されている固定子と、(b)該固定子に対向する浮上体と、(c)前記固定子と前記浮上体間のギャップを検出する近接スイッチと、(d)直流電圧を供給する電源と、(e)前記固定子の電極パターンへの印加電圧のスイッチング動作を行うスイッチング回路とを備え、(f)前記近接スイッチからのオン/オフ信号に基づいて前記スイッチング回路で前記電源からの直流電圧を前記固定子の電極パターンにスイッチングすることにより、前記浮上体を安定浮上させることを特徴とする静電浮上システム。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 静電浮上搬送装置及びその静電浮上用電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-048175   出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー, 三菱マテリアル株式会社
• 特開平2-164288
  
• 静電浮上装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-192596   出願人：セイコー精機株式会社
• 特開平2-164288