特許
J-GLOBAL ID:200903090624840270

対象物の密封性を測定するためのシステム及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤田 アキラ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-407157
公開番号(公開出願番号):特開2005-164525
出願日: 2003年12月05日
公開日(公表日): 2005年06月23日
要約:
【課題】第一キャビティーを有する対象物の密封性を測定するためのシステムと方法を提供する。【解決手段】第二キャビティー5を有する対象物2を覆うように配された閉鎖室4と、キャビティー3、5のどちらかの内部の圧力を下げるための排気手段6と、トレーサーガス8を高めの圧力にされたキャビティー3、5のどちらかに供給するための供給手段7と、トレーサーガス8に反応する検出手段9と、輸送ガスを低めの圧力にされたキャビティー3、5のどちらかに案内するための案内手段10とを有する。さらに、排気手段6は到達ガスを室4の周囲圧力まで圧縮し、室4の周囲圧力で動作するのに適する検出手段9と連通するために配される。トレーサーガスは水素である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第一キャビティー(3)を有する対象物(2)の密封性を測定するためのシステム(1)にして、 上記システム(1)が、第二キャビティー(5)を有する、該第二キャビティー(5)内で上記対象物(2)を覆うよう配された閉鎖室(4)と、上記第一キャビティー(3)と第二キャビティー(5)のどちらかの内部の圧力を周囲圧力に対して下げるために配された排気手段(6)と、トレーサーガス(8)を高めの圧力にされた上記キャビティー(3、5)のどちらかに供給するための供給手段(7)と、上記トレーサーガス(8)に反応する検出手段(9)とを有するシステムにおいて、 上記システム(1)がさらに、上記トレーサーガス(8)以外の輸送ガスを低めの圧力にされた上記キャビティー(3、5)のどちらかに案内するように配された案内手段(10)を有しており、上記排気手段(6)がさらに到達ガスを上記室(4)の上記周囲圧力まで圧縮するために配され、上記検出手段(9)が排気手段(6)を介して低めの圧力にされた上記キャビティー(3、5)のどちらかと連通するように配され且つ上記室(4)の周囲圧力で作動するように配され、上記トレーサーガス(8)が水素である事を特徴とするシステム。
IPC (1件):
G01M3/24
FI (1件):
G01M3/24 Z
Fターム (6件):
2G067AA44 ,  2G067BB03 ,  2G067BB12 ,  2G067CC11 ,  2G067DD17 ,  2G067EE08
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 漏洩試験方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-349840   出願人:株式会社東芝
  • 特開平4-256817
審査官引用 (2件)
  • 漏洩試験方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-349840   出願人:株式会社東芝
  • 特開平4-256817

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