特許
J-GLOBAL ID：200903090654775081
石英ガラスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-318088
公開番号（公開出願番号）：特開平6-166527
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 Δn=1×10-6以下の高均質な合成石英ガラスの製造方法を提供する。【構成】均質性Δn=1×10-6以上の石英ガラスを、大気中または不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中で900°C以上1300°C以下に保持し、横軸が降温速度の対数、縦軸が均質性Δnのグラフに予め求めた2以上の座標点をプロットして得られた直線から所望のΔnを与える降温速度として求められた降温速度で熱処理し、均質性Δn=1×10-6程度以下の石英ガラスを製造する。
請求項（抜粋）：
均質性Δn=1×10-6以上の石英ガラスを、大気中または不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中で900°C以上1300°C以下に保持し、降温速度を調整して熱処理することを特徴とする均質性Δn=1×10-6程度以下の石英ガラスの製造方法。
IPC (4件)：
C03B 20/00
, C03B 32/00
, G02B 1/04
, H01L 21/027
