特許

J-GLOBAL ID：200903090699032748

フィルタリング装置

発明者： 富澤 巧
出願人/特許権者： 九州日本電気株式会社
代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-322290
公開番号（公開出願番号）：特開2001-137625
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】 フィルタ交換前後の作業が簡便で短時間で終了すると共に安全性が高いフィルタリング装置を提供する。【解決手段】 レジスト塗布機に使用されるフィルタリング装置は、フィルタ2を収納するハウジング3と、ハウジング3にレジストを供給するイン側配管4及びレジストを排出するアウト側配管1とを有している。更に、ハウジング3とアウト側配管1との接続部に接続されハウジング3内の液体を排出するアウト側置換用配管10と、ハウジング3の下部側面に接続され置換用液体を注入するイン側置換用配管9と、を有しており、配管とハウジング3との接続部には各配管を開閉する開閉弁が夫々設けられている。また、第1配管15及び第2配管16が接続され、レジスト洗浄溶剤を選択して第1配管15からハウジング3に供給し、その後、純水を選択して第2配管16からハウジング3に供給する切り替え部17がイン側置換用配管9に接続されている。

請求項（抜粋）：

半導体製造時に使用する処理液をフィルタを介して循環させることにより清浄化するフィルタリング装置において、前記フィルタを収納するフィルタハウジングと、前記ハウジングに接続され前記ハウジング内に前記処理液を供給する第1のイン側配管と、前記ハウジングに接続され前記ハウジングから前記処理液を排出する第1のアウト側配管と、前記ハウジングに接続され前記ハウジング内に前記処理液に対する置換用液体を供給する第2のイン側配管と、前記ハウジングに接続され前記ハウジング内の液体を排出する第2のアウト側配管と、前記各配管と前記ハウジングとの接続部に設けられ前記配管を開閉する開閉弁とを有することを特徴とするフィルタリング装置。

IPC (5件)：

B01D 35/30 ,  B01D 35/02 ,  G03F 7/32 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 648

FI (5件)：

B01D 35/30 ,  G03F 7/32 501 ,  H01L 21/304 648 F ,  B01D 35/02 Z ,  H01L 21/30 564 Z

Fターム (5件)：

2H096AA25 ,  2H096CA12 ,  4D064AA31 ,  4D064CD03 ,  5F046JA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• フィルタ再生機能付薬液循環濾過システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-225566   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
• 特開昭56-076216
  
• 特開昭56-076216