特許

J-GLOBAL ID：200903090732885662

光学ユニット、照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法

発明者： 谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-263405
公開番号（公開出願番号）：特開2009-105396
出願日： 2008年10月10日
公開日（公表日）： 2009年05月14日
要約：

【課題】 照明瞳輝度分布の形状、大きさ、および偏光状態について多様性に富んだ照明条件を実現することのできる照明光学装置。【解決手段】 照明光学装置は、光学ユニット(3)を備えている。光学ユニットは、入射光束を2つの光束に分割する光分割器(35)と、第1光束の光路に配置可能な第1空間光変調器(33)と、第2光束の光路に配置可能な第2空間光変調器(34)と、第1空間光変調器を介した光束と第2空間光変調器を介した光束とを合成する光合成器(36)とを備え、第1空間光変調器および第2空間光変調器は、二次元的に配列されて個別に制御される複数の光学要素(33a,34a)を有する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

入射光路を進行する入射光束を複数の光束に分割する光分割器と、 前記複数の光束のうちの第1光束の光路に配置可能な第1空間光変調器と、 前記複数の光束のうちの第2光束の光路に配置可能な第2空間光変調器と、 前記第1空間光変調器を介した光束と前記第2空間光変調器を介した光束とを合成して射出光路へ向ける光合成器とを備え、 前記第1空間光変調器および前記第2空間光変調器のうちの少なくとも一方の空間光変調器は、二次元的に配列されて個別に制御される複数の光学要素を有し、 前記光分割器側の前記入射光路と前記光合成器側の前記射出光路とは同じ方向に延ばされていることを特徴とする光学ユニット。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (3件)：

5F046CB13 ,  5F046CB18 ,  5F046CB23

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 照明光学装置,該照明光学装置を備えた露光装置,およびマイクロデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-155095   出願人：株式会社ニコン