特許
J-GLOBAL ID：200903078797155157

照明光学装置,該照明光学装置を備えた露光装置,およびマイクロデバイスの製造方法

発明者：
小松田 秀基

小松田 秀基 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-155095
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353105
出願日： 2001年05月24日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：
【要約】【課題】 ズーム光学系を用いずに照明条件を連続的に変更可能な光効率の高い照明光学装置,該照明光学装置を備えた露光装置,該露光装置を用いたマイクロデバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】 光源1から射出された光束はリレー光学系2に入射し,可動マルチミラー3に入射した後,リレー光学系4を介してフライアイレンズ5に入射し,コンデンサ光学系6,7を経た後,マスク8を均一に照明する。可動マルチミラー3は,アレイ状に配列された多数の微小な要素ミラー30を含んで構成される。各要素ミラー30は,可動であり,傾斜角および傾斜方向が個別に駆動制御される。これより,可動マルチミラー3では光束を反射面毎の微小単位に分割して,所定方向に,所定角度偏向させることができ,光源からの光の断面形状を所望の形状または所望の大きさに変換できる。
請求項（抜粋）：
光源からの光に基づいて被照射面を均一に照明するオプティカルインテグレータと,前記光源と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置され,前記光源からの光の断面形状を所望の形状または所望の大きさに変換する光変換手段と,を含み,前記光変換手段は,アレイ状に配列された多数の微小な反射面を有する光学素子を含むことを特徴とする照明光学装置。
IPC (6件)：
H01L 21/027 ,  G02B 5/08 ,  G02B 19/00 ,  G02B 26/08 ,  G02B 27/09 ,  G03F 7/20 521
FI (7件)：
G02B 5/08 Z ,  G02B 19/00 ,  G02B 26/08 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 515 D ,  G02B 27/00 E
Fターム (20件)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  2H042DD04 ,  2H042DD05 ,  2H042DD13 ,  2H042DE04 ,  2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA08 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  5F046BA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23
引用特許：
審査官引用 (4件)
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