特許

J-GLOBAL ID：200903090801405678

試料ホルダー

発明者： 植木 裕子
出願人/特許権者： 富士電機デバイステクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 松本 洋一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-042495
公開番号（公開出願番号）：特開2009-198417
出願日： 2008年02月25日
公開日（公表日）： 2009年09月03日
要約：

【目的】二次イオン質量分析装置などの試料ホルダーにおいて、測定窓より小さな複雑な形状を持つ試料や微小試料を安定に保持して分析ができる試料ホルダーを提供する。【解決手段】試料ホルダー100の試料設置部4aに導電性を持つ熱可塑性樹脂4a-1を配し、試料設置部4aを加熱し、該樹脂4a-1が変形可能となった時点で試料5の下部を埋め込み、冷却、硬化させることで、測定窓8より小さな粒子や微小試料など複雑な形状の試料5を容易に固定することが出来るようになり、二次イオン質量分析を行なうことができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

イオンを試料に照射して分析を行う真空分析装置の試料ホルダーにおいて、該試料ホルダーの試料設置部に導電性を持つ熱可塑性樹脂を有し、該樹脂内に試料の下部を埋め込んで前記試料を保持することを特徴とする試料ホルダー。

IPC (3件)：

G01N 27/62 ,  G01N 23/225 ,  G01N 1/28

FI (3件)：

G01N27/62 B ,  G01N23/225 ,  G01N1/28 W

Fターム (16件)：

2G001AA05 ,  2G001BA06 ,  2G001CA05 ,  2G001PA07 ,  2G001PA14 ,  2G001QA02 ,  2G001QA03 ,  2G001QA10 ,  2G041BA18 ,  2G041CA01 ,  2G041EA01 ,  2G041GA16 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052GA24

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭62-83637号公報
  
• 試料ホルダー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-293541   出願人：財団法人材料科学技術振興財団
• 二次イオン質量分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-412111   出願人：富士電機ホールディングス株式会社